6月1日上午楚千澜刚驱车驶入深蓝半导体厂区就看到沈院士的车队正缓缓停靠在办公楼前。
沈国梁穿着灰色中山装在几名技术人员的簇拥下走向厂区目光扫过正在运转的设备时带着审视与期待。
王世杰早已等候在门口见楚千澜下车连忙迎上来:“楚总沈院士团队已经到了我们按您的要求把试生产数据和设备运行流程整理成可视化报告女娲系统的操作环节全部做了脱敏处理。
” 楚千澜颔首与王世杰一同走向沈国梁:“沈院士欢迎您来指导。
180nm产线刚完成联机调试今天正好能展示完整的试生产流程。
” 沈国梁握着楚千澜的手语气带着几分感慨:“深蓝半导体能在这么短时间内搭建起180nm制程生产线实属不易。
” 一行人在寒暄中穿过洁净室走廊。
片刻之后蓝色防护服将所有人裹得严严实实只有眼睛露在观察窗旁。
光刻区内机械臂正精准地将硅片送入光刻机操作屏幕上跳动的种种数据在昏暗环境中格外醒目。
“光刻机现在生产的是电源管理芯片!”王世杰指着屏幕“该芯片由星源探索研发最终会应用在繁星科旗下消费电子产品上。
” 沈国梁俯身靠近观察窗盯着光刻机的精密工作台:“这台193nm深紫外光刻机的定位精度控制得不错工作台的水平振动误差能压到多少?” 张北光上前一步语气带着几分自得:“通过激光干涉仪校准后水平振动误差稳定在±0.008微米完全满足180nm制程要求。
我们还在工作台底部加装了减震装置进一步降低设备运行时的共振影响。
” 沈国梁眼中闪过一丝赞许:“细节做得很到位。
电源管理芯片的良率目标定在多少?试生产过程中有没有遇到工艺瓶颈?” 楚千澜接过王世杰递来的测试报告递到沈国梁面前:“初期良率目标是90%目前第一批芯片的测试结果已经出来良品率达到92%超出预期。
待到稳定生产一段时间后还需要对设备进一步调整继续提高良品率!” 沈国梁目光扫过报告中的参数脸上满是欣慰:“92%的试产良品率已经接近行业平均水平!你们不仅搭建起产线还能在短时间内把工艺精度控制到这个程度确实下了苦功。
” 半个小时后视察接近尾声所有人都走出生产区来到办公楼的会议室。
沈国梁忽然问道“楚总你们生产线已经完成调试订单准备的如何能让产线满负荷运转吗?” 楚千澜坐在会议桌主位缓缓开口:“沈院士说笑了我们深蓝半导体刚成立半年怎么可能有那么多订单 到目前为止深蓝半导体只有生产电源管理芯片一个订单其利润能勉强能维持公司运转。
好在我们深蓝半导体的近期目标并非盈利而是配合星源探索验证新研发的芯片并不需要大量订单支撑。
” 深蓝半导体的芯片生产线每月的产量大概是3万片8英寸晶圆按照电源管理芯片的面积一片晶圆能切割1600枚左右合格芯片。
繁星科技现在每个月大概需要120万颗电源管理芯片深蓝半导体生产750片晶圆就可以满足需求。
也就是说深蓝半导体每个月生产一天就能完成现有的电源管理芯片订单。
沈国梁闻言目光中带着几分了然。
他可是知道楚千澜正在开发新的指令集以及EDA工具。
这深蓝半导体其实就是一个试验场通过新指令集与EDA工具开发出来的芯片就会在此处得到验证。
他略作沉吟随即开口“以验证技术为核心目标这个定位很清晰。
半导体产业本就是长期投入短期内不追求盈利也属正常。
不过产线长期低负荷运转会导致设备精度下降还会影响工程师的操作熟练度这反而不利于技术验证。
” 沈国梁说到这里顿了一下沉吟片刻后才继续说道“我回去后会给你们联系几家芯片设计公司他们以前研发出来的芯片都是拿到国外流片生产放到你们这里也是一样的。
” 楚千澜闻言眼中闪过一丝惊喜随即起身致谢:“若能有沈院士牵线不仅能让产线保持合理负荷还能帮我们积累不同类型芯片的生产经验真是解了我们的燃眉之急!” 沈国梁笑着摆手:“不用客气都是为了半导体国产化。
我推荐的几家公司主打低功耗物联网芯片和工业控制芯片工艺要求与180nm制程匹配你们调整参数应该很快就能适配。
后续若是在芯片设计、流片测试上遇到技术难题也可以随时找我协调资源。
” 王世杰起身应道:“沈院士我们有成熟的团队你说的这些芯片只需调整光刻胶涂覆厚度和离子注入剂量一周内就能流片生产。
我们的设备不弱国外厂商能做到的我们也能做到。
” 半个小时后考察结束沈国梁准备带队离开忽然注意到生产楼下转运的设备。
“你们不是已经完成调试了吗怎么还有设备入场啊!” 楚千澜闻言也看向了王世杰他对此也是一无所知。
王世杰只是看了一眼窗外便开口解释“那是一套250纳米制程的光刻机。
我们公司将其买回来是准备拆解研究。
未来我们还准备购买更先进的光刻机进行研究。
” 沈国梁顺着王世杰的目光望向生产楼下的设备眼中闪过一丝惊讶随即化为浓厚的兴趣。
“250nm光刻机拆解研究?这个思路很有远见!虽然这一制程已不是主流但对掌握光刻机核心结构、积累自主研发经验来说是绝佳的‘练手对象’。
” 送走沈国梁一行人后楚千澜立即召集王世杰、张北光等人召开专题会议将拆解研究的任务细化落实。
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